लिथोग्राफी मशीन मास्क अलाइनर फोटो-एचिंग मशीन
उत्पादन परिचय
एक्सपोजर लाईट सोर्स आयातित यूव्ही एलईडी आणि लाईट सोर्स शेपिंग मॉड्यूलचा अवलंब करतो, ज्यामध्ये कमी उष्णता आणि चांगली लाईट सोर्स स्थिरता असते.
उलट्या प्रकाशाच्या संरचनेमध्ये चांगला उष्णता नष्ट होण्याचा प्रभाव आणि प्रकाश स्रोत जवळचा प्रभाव आहे आणि पारा दिवा बदलणे आणि देखभाल करणे सोपे आणि सोयीस्कर आहे. उच्च मॅग्निफिकेशन दुर्बिणी ड्युअल फील्ड मायक्रोस्कोप आणि २१ इंच रुंद स्क्रीन एलसीडीने सुसज्ज, ते दृश्यमानपणे संरेखित केले जाऊ शकते.
आयपीस किंवा सीसीडी + डिस्प्ले, उच्च संरेखन अचूकता, अंतर्ज्ञानी प्रक्रिया आणि सोयीस्कर ऑपरेशनसह.
वैशिष्ट्ये
फ्रॅगमेंट प्रोसेसिंग फंक्शनसह
संपर्क दाब समतल केल्याने सेन्सरद्वारे पुनरावृत्तीची खात्री होते.
अलाइनमेंट गॅप आणि एक्सपोजर गॅप डिजिटल पद्धतीने सेट करता येते.
एम्बेडेड संगणक + टच स्क्रीन ऑपरेशन वापरणे, सोपे आणि सोयीस्कर, सुंदर आणि उदार
पुल टाइप अप आणि डाउन प्लेट, सोपी आणि सोयीस्कर
व्हॅक्यूम कॉन्टॅक्ट एक्सपोजर, हार्ड कॉन्टॅक्ट एक्सपोजर, प्रेशर कॉन्टॅक्ट एक्सपोजर आणि प्रॉक्सिमिटी एक्सपोजरला सपोर्ट करा.
नॅनो इम्प्रिंट इंटरफेस फंक्शनसह
एकाच कीसह सिंगल लेयर एक्सपोजर, उच्च दर्जाचे ऑटोमेशन
या मशीनमध्ये चांगली विश्वासार्हता आणि सोयीस्कर प्रात्यक्षिक आहे, विशेषतः महाविद्यालये आणि विद्यापीठांमध्ये अध्यापन, वैज्ञानिक संशोधन आणि कारखान्यांसाठी योग्य.
अधिक माहितीसाठी
तपशील
१. एक्सपोजर क्षेत्र: ११० मिमी × ११० मिमी;
२. ★ एक्सपोजर तरंगलांबी: ३६५nm;
३. रिझोल्यूशन: ≤ १ मीटर पेक्षा कमी;
४. संरेखन अचूकता: ०.८ मी;
५. अलाइनमेंट सिस्टमच्या स्कॅनिंग टेबलची गती श्रेणी किमान खालील गोष्टींपर्यंत पोहोचली पाहिजे: Y: १० मिमी;
६. अलाइनमेंट सिस्टीमच्या डाव्या आणि उजव्या लाईट ट्यूब X, y आणि Z दिशांमध्ये स्वतंत्रपणे हलू शकतात, X दिशा: ± 5 मिमी, Y दिशा: ± 5 मिमी आणि Z दिशा: ± 5 मिमी;
७. मास्कचा आकार: २.५ इंच, ३ इंच, ४ इंच, ५ इंच;
८. नमुना आकार: तुकडा, २ ", ३", ४ ";
९. ★ नमुना जाडीसाठी योग्य: ०.५-६ मिमी, आणि जास्तीत जास्त २० मिमी नमुना तुकड्यांना आधार देऊ शकते (सानुकूलित);
१०. एक्सपोजर मोड: वेळ (काउंटडाउन मोड);
११. प्रकाशयोजनेची एकरूपता नसणे: ＜ २.५%;
१२. ड्युअल फील्ड सीसीडी अलाइनमेंट मायक्रोस्कोप: झूम लेन्स (१-५ वेळा) + मायक्रोस्कोप ऑब्जेक्टिव्ह लेन्स;
१३. नमुन्याच्या सापेक्ष मास्कचा हालचाल स्ट्रोक किमान खालील गोष्टींशी जुळला पाहिजे: X: ५ मिमी; Y: ५ मिमी; : ६º;
१४. ★ एक्सपोजर एनर्जी डेन्सिटी: > ३० मेगावॅट / सेमी२,
१५. ★ दोन स्टेशनमध्ये अलाइनमेंट पोझिशन आणि एक्सपोजर पोझिशन काम करतात आणि दोन स्टेशन सर्वो मोटर आपोआप स्विच होतात;
१६. संपर्क दाब समतल केल्याने सेन्सरद्वारे पुनरावृत्तीक्षमता सुनिश्चित होते;
१७. ★ अलाइनमेंट गॅप आणि एक्सपोजर गॅप डिजिटल पद्धतीने सेट करता येते;
१८. ★ यात नॅनो इम्प्रिंट इंटरफेस आणि प्रॉक्सिमिटी इंटरफेस आहे;
१९. ★ टच स्क्रीन ऑपरेशन;
२०. एकूण परिमाण: सुमारे १४०० मिमी (लांबी) ९०० मिमी (रुंदी) १५०० मिमी (उंची).
