लिथोग्राफी मशीन मास्क अलाइनर फोटो-एचिंग मशीन

तपशील

1. एक्सपोजर क्षेत्र: 110mm × 110mm；
2. ★ एक्सपोजर तरंगलांबी: 365nm;
3. ठराव: ≤ 1m;
4. संरेखन अचूकता: 0.8 मी;
5. संरेखन प्रणालीच्या स्कॅनिंग टेबलची गती श्रेणी किमान पूर्ण होईल: Y: 10 मिमी;
6. संरेखन प्रणालीच्या डाव्या आणि उजव्या लाईट ट्यूब X, y आणि Z दिशानिर्देशांमध्ये, X दिशा: ± 5 मिमी, Y दिशा: ± 5 मिमी आणि Z दिशा: ± 5 मिमी;
7. मुखवटा आकार: 2.5 इंच, 3 इंच, 4 इंच, 5 इंच;
8. नमुना आकार: तुकडा, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ नमुन्याच्या जाडीसाठी योग्य: 0.5-6 मिमी, आणि जास्तीत जास्त 20 मिमी नमुन्याचे तुकडे समर्थन करू शकतात (सानुकूलित);
10. एक्सपोजर मोड: वेळ (काउंटडाउन मोड);
11. प्रकाशाची एकसमानता नसणे: ＜ 2.5%;
12. ड्युअल फील्ड सीसीडी अलाइनमेंट मायक्रोस्कोप: झूम लेन्स (1-5 वेळा) + मायक्रोस्कोप ऑब्जेक्टिव्ह लेन्स;
13. नमुन्याशी संबंधित मास्कचा हालचाल स्ट्रोक किमान पूर्ण होईल: X: 5 मिमी;Y: 5 मिमी;: ६º
14. ★ एक्सपोजर ऊर्जा घनता: > 30MW / cm2,
15. ★ संरेखन स्थिती आणि एक्सपोजर स्थिती दोन स्थानकांमध्ये कार्य करते, आणि दोन स्टेशन सर्वो मोटर स्वयंचलितपणे स्विच होतात;
16. लेव्हलिंग कॉन्टॅक्ट प्रेशर सेन्सरद्वारे पुनरावृत्तीची खात्री देते;
17. ★ संरेखन अंतर आणि एक्सपोजर अंतर डिजिटल पद्धतीने सेट केले जाऊ शकते;
18. ★ यात नॅनो इंप्रिंट इंटरफेस आणि प्रॉक्सिमिटी इंटरफेस आहे;
19. ★ टच स्क्रीन ऑपरेशन;
20. एकूण परिमाण: सुमारे 1400 मिमी (लांबी) 900 मिमी (रुंदी) 1500 मिमी (उंची).