लिथोग्राफी मशीन, मास्क अलाइनर, फोटो-एचिंग मशीन

तपशील

१. उघड क्षेत्र: ११० मिमी × ११० मिमी;
२. ★ एक्सपोजर तरंगलांबी: ३६५nm;
३. रिझोल्यूशन: ≤ १ मी;
४. संरेखन अचूकता: ०.८ मी;
५. अलाइनमेंट सिस्टीमच्या स्कॅनिंग टेबलची हालचाल श्रेणी किमान खालीलप्रमाणे असावी: Y: १० मिमी;
६. अलाइनमेंट सिस्टीमच्या डाव्या आणि उजव्या लाईट ट्यूब X, y आणि Z दिशांमध्ये स्वतंत्रपणे फिरू शकतात, X दिशा: ± ५ मिमी, Y दिशा: ± ५ मिमी आणि Z दिशा: ± ५ मिमी;
७. मास्कचा आकार: २.५ इंच, ३ इंच, ४ इंच, ५ इंच;
८. नमुन्याचा आकार: तुकडा, २", ३", ४";
९. ★ नमुन्याच्या जाडीसाठी उपयुक्त: ०.५-६ मिमी, आणि जास्तीत जास्त २० मिमी नमुन्याचे तुकडे हाताळू शकते (आवश्यकतेनुसार बदल करून);
१०. एक्सपोजर मोड: टायमिंग (काउंटडाउन मोड);
११. प्रकाशाची असमानता: ＜ २.५%;
१२. ड्युअल फील्ड सीसीडी अलाइनमेंट मायक्रोस्कोप: झूम लेन्स (१-५ पट) + मायक्रोस्कोप ऑब्जेक्टिव्ह लेन्स;
१३. नमुन्याच्या सापेक्ष मास्कच्या हालचालीचा स्ट्रोक किमान खालीलप्रमाणे असावा: X: ५ मिमी; Y: ५ मिमी; X: ६°;
१४. ★ एक्सपोजर ऊर्जा घनता: > ३० मेगावॅट / सेमी²,
१५. ★ अलाइनमेंट पोझिशन आणि एक्सपोजर पोझिशन दोन स्टेशनमध्ये काम करतात आणि दोन्ही स्टेशनमधील सर्वो मोटर आपोआप स्विच होतात;
१६. समतलीकरण संपर्क दाब सेन्सरद्वारे पुनरावृत्तीक्षमता सुनिश्चित करतो;
१७. ★ अलाइनमेंट गॅप आणि एक्सपोजर गॅप डिजिटली सेट करता येतात;
१८. ★ यात नॅनो इम्प्रिंट इंटरफेस आणि प्रॉक्झिमिटी इंटरफेस आहे;
१९. ★ टच स्क्रीनद्वारे संचालन;
२०. एकूण आकारमान: सुमारे १४०० मिमी (लांबी) ९०० मिमी (रुंदी) १५०० मिमी (उंची).